HISEMI TECHNOLOGY
Nedavno je HISEMI TECHNOLOGY službeno izbacio novu generaciju opreme za precizno brušenje i poliranje s dvije stanice. Novi proizvod se fokusira na scenarije mljevenja i poliranja malih serija uzoraka za tvrde i krhke materijale kao što su poluvodiči treće-generacije, optički kristali i specijalna keramika, popunjavajući prazninu u lokalizaciji visoko{2}}opreme za pripremu uzoraka visoke preciznosti u domaćim naučnim istraživanjima.
Razvoj novih poluvodičkih materijala podstakao je potražnju za preciznim brušenjem i poliranjem
Uz brzu ekspanziju industrije poluprovodnika treće{0}}generacije, kao što su silicijum karbid (SiC) i galijum nitrid (GaN), veliki univerziteti, istraživački instituti i laboratorije za istraživanje i razvoj preduzeća u oblasti poluprovodnika kontinuirano poboljšavaju svoje zahtjeve za ravnost podloge, tačnost debljine i hrapavost površine. Tradicionalna oprema za mlevenje sa jednom stanicom ima bolne tačke kao što su niska efikasnost obrade, neujednačena kontrola pritiska i loša ponovljivost procesa. Uvezena oprema za precizno mljevenje također ima probleme kao što su visoki troškovi nabavke, dugi ciklusi održavanja i poteškoće u prilagođavanju i transformaciji. Na osnovu stvarnih potreba domaćeg istraživanja i razvoja novih materijala, Hemei Semiconductor se oslanja na dugogodišnje iskustvo u istraživanju i razvoju opreme za precizno brušenje, iterativno optimizuje strukturni dizajn i implementira ovu inteligentnu mašinu za precizno brušenje i poliranje sa dve stanice.
Dizajn sa dvostrukom stanicom postiže poboljšanje efikasnosti procesa
1. Nezavisni dizajn dvostruke stanice: Oprema je opremljena sa dva seta nezavisnih radnih stanica, a prilagođeno učvršćenje (Jjg) je opremljeno digitalnim modulom za praćenje debljine, koji može pratiti količinu uklanjanja mljevenog uzorka u realnom vremenu na mreži, s preciznošću od 1 μm i podesivim pritiskom učvršćenja. Dizajn dvostruke stanice može istovremeno obraditi i prilagoditi oblik diska, a može istovremeno obraditi veći broj uzoraka, što je skoro dvostruko efikasnije od tradicionalne obrade na jednoj mašini.
2. Inteligentni sistem kontrole procesa dodirom usvaja Huichuan INOVANCE industrijski touch operativni sistem, koji podržava skladištenje i preuzimanje više setova formula procesa mlevenja. Može precizno podesiti brzinu brusnog diska, vrijeme mljevenja, opterećenje tlakom i parametre raspršivanja tekućine za mljevenje i lako pristupiti zrelim procesima jednim klikom, značajno smanjujući ljudsku grešku i osiguravajući konzistentnost u obradi uzoraka.
3. Precizni sistem za dovod tečnosti standardno dolazi sa 2 nezavisna cevovoda za mlevenje tečnih kapljica, koji mogu snabdevati potrošnim materijalima kao što su dijamantska tečnost za mlevenje i tečnost za poliranje glinice u realnom vremenu u skladu sa procesom brušenja, optimizuje okruženje za brušenje površine, efikasno smanjuje lom i ogrebotine na ivicama pločice i prilagođava se raznim vrstama tvrdih i krhkih sifonskih podloga karbid, piezoelektrična keramika, itd.
4. Dizajn kućišta za standardizaciju sigurnosti: Oprema ima integrisano kućište otporno na rđu, opremljeno sigurnosnim dugmetom za zaustavljanje u nuždi i prekidačem za zaštitu napajanja. Struktura je kompaktna i zauzima malu površinu, savršeno se prilagođava okruženju za postavljanje laboratorijske radne površine, balansirajući stabilnost opreme i radnu sigurnost.
Priprema uzoraka istraživanja koji pokrivaju više polja
Ovaj novi uređaj je uglavnom usmjeren na tri glavna područja primjene:
1. Istraživanje i razvoj poluprovodnika treće generacije: stanjivanje SiC/GaN supstrata, poliranje ogledala, koji se koristi za pripremu uzoraka prije ispitivanja fizičkih i hemijskih svojstava i električnih svojstava materijala;
2. Optika i industrija kristala: Precizno poliranje optičkog stakla, safirnih supstrata i krajnjih površina kvarcnih kristala kako bi se zadovoljile potrebe za optičkim premazom i uzorcima za ispitivanje performansi prijenosa svjetlosti;
3. Oblast istraživanja novih materijala: brušenje i poliranje specijalnih neorganskih nemetalnih materijala kao što su aluminijska keramika, litijum niobat, galijum arsenid, dijamantski kompozitni materijali, itd.
Ubrzati domaći proces zamjene opreme za precizno mljevenje
Ranije se vrhunska-oprema za laboratorijsko precizno mljevenje u Kini dugo oslanjala na uvezene modele iz Evrope, Amerike i Japana. Implementacija ove mašine za brušenje i poliranje sa dvostrukom stanicom od strane Hemei Semiconductor-a je uporedila slične uvozne proizvode u smislu tačnosti obrade i inteligentne kontrole, uz značajno smanjenje troškova nabavke i post-operativnih troškova. Oprema je puštena u probnu upotrebu na nekoliko univerziteta Double First Class u Kini, uključujući Školu nauke o materijalima i tehnologiji, Ključnu laboratoriju poluprovodnika treće generacije i Centar za istraživanje i razvoj vodećih energetskih poluprovodničkih preduzeća.
Analiza industrije pokazuje da ubrzanjem procesa lokalizacije poluprovodnika treće{0}}generacije i naprednih optičkih materijala u Kini, potražnja za lokalizacijom opreme za laboratorijsku preciznu pre{1}}preradu nastavlja rasti. Lokalni proizvođači opreme nastavljaju da ponavljaju svoju tehnologiju, što će dodatno razbiti monopol prekomorskih brendova i poboljšati podršku domaćem lancu industrije novih poluvodičkih materijala.
